ТУСУР создаст прототип установки для ускорения производства интегральных схем в 2026 году

Аспирант кафедры физической электроники Томского госуниверситета систем управления и радиоэлектроники (входит в ТРО «СоюзМаш России») Александр Шестериков дорабатывает техническую модель установки ElectroLIT Compact-1, автоматизирующей получение многослойных функциональных покрытий для микроэлектроники. В 2026 году планируется завершить разработку прототипа, а в 2027– оказывать первые коммерческие услуги.

Технологическая основа проекта была разработана в рамках программы «УМНИК» Фонда содействия инновациям. Тогда основной задачей была разработка технологии получения преформ AuSn методом фотолитографии и электрохимического осаждения. В 2025 году на реализацию проекта аспирант выиграл 1 миллион рублей по программе «Студенческий стартап», что позволило перейти к созданию прототипа автоматизированной установки.

Установка, разрабатываемая в ТУСУРе, должна автоматизировать эти процессы: самостоятельно перемещать пластины между реакторами, контролировать параметры растворов, управлять режимами осаждения и выполнять технологические рецепты.

В 2025 году проект перешел от научной разработки к стартапу. Было зарегистрировано ООО «Электролит», проведены проблемные интервью с потенциальными заказчиками из числа высокотехнологичных предприятий Томской области, доработана бизнес-модель.

В первой половине 2026-го была подготовлена более детальная техническая модель установки, в настоящий момент прорабатывается конструкция, система управления и пользовательский интерфейс. До конца года планируется изготовление и сборка первого прототипа установки, отладка системы управления, проведение лабораторных испытаний и доработка конструкции. В 2027-м аспирант планирует пилотное внедрение и оказание первых коммерческих услуг.

На сегодняшний день в проект удалось привлечь 1,6 миллиона рублей. Средства направлены на создание прототипа установки: разработку конструкции, изготовление механических узлов, закупку комплектующих, разработку системы управления и программного обеспечения, а также проведение испытаний. Часть ресурсов также используется для подготовки материалов к защите интеллектуальной собственности и дальнейшей коммерциализации проекта.